利用激光器纵模细分的高精度平面测量

【摘要】 <正> 高精度平面的测量方法之一是多光束细分,Herriott利用多狭缝加单色仪得到多波长细分条纹[1],J.Schwider利用标准具得到多波长细分条纹[2],作者也介绍了压电细分的方法[3]。为了简化仪器及操作,本文介绍了直接用激光器的纵模作为多波长细分的光源进行平面度的测量。仪器装置原理如图1。由腔长L=250毫米的全内腔He-Ne激光器1发出的光束,经由显微物镜2与物镜3组成的扩束镜变成平行光,照明由两待比较的平板4和5组成的标准具,腔间隔L′是可以调整的,它们的平行度用三个压电陶瓷精密调整,经会聚物镜6和场镜7把标准具内的干涉条纹成象于投影屏8上。细分应该采用多光束干涉,所以平板4和5应镀反更多还原