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4.4千兆赫ZnO单晶膜/兰宝石SAW滤波器

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【摘要】在兰宝石（Al₂O₃）基片上采用ZnO单晶膜已研制成4.4千兆赫SAW滤波器.ZnO膜是用R.F.磁控溅射技术生长的.发现ZnO/Al₂O₃结构的SAW特性与理论值很一致.滤波器系由0.5微米宽的双电极叉指换能器构成.尽管电极宽度较宽,但是由于器件用了具有极高相速的西沙瓦波和通过双电极产生三次谐波,故能在这样高的频率下工作,滤波器的3分贝带宽为50兆赫,在匹配条件下的插入损耗为16分贝.更多还原

【关键词】 SAW； ZnO；千兆赫；兰宝石；插入损耗；叉指换能器；相速；晶膜；三次谐波；匹配条件；

【文献出处】压电与声光 ,Piezoelectrics & Acoustooptics , 编辑部邮箱 ,1983年03期

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