质子微探针

【摘要】 一、微探针分析原理 微探针是用于测量化学元素沿物体表面分布的工具,继电子微探针问世之后,又有了离子微探针[1]及质子微探针等.各种微探针分析的原理是大同小异的.如图1所示,离子(或电子)源发射出的离子(或电子)经过滤波(例如对离子或电子的能量和种类进行选择),聚焦成微束,然后沿样品表面扫描,诱发的次级辐射再经过滤波被探测器接受,经过定量的处理,最后给出化学组成的二维分布情况或图象.离子微探针有较高的分析灵敏度.它能测量杂质距表面的深度分布,其深度分辨本领是目前微分析仪器中最好的. 二、质子微探针 世界上第一个质子微探针于1970年在英国哈威尔调制成功[2],它的束斑(即质子束流投射到待分析的样更多还原