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辉光放电非晶态硅薄膜光、暗电导率特性的研究
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【作者】
李大中
;
宋学文
;
戴国才
;
【机构】
山东大学物理系
;
山东大学物理系
;
【关键词】
辉光放电
;
硅薄膜
;
非晶态
;
衬底温度
;
放电功率
;
能量转换效率
;
电极距离
;
光生载流子
;
光吸收系数
;
非晶硅
;
【文献出处】
物理
,
Physics
,
编辑部邮箱
,
1983年02期
【被引频次】2
【下载频次】63
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