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辉光放电非晶态硅薄膜光、暗电导率特性的研究

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【作者】 李大中； 宋学文； 戴国才；

【机构】 山东大学物理系； 山东大学物理系；

【关键词】 辉光放电； 硅薄膜； 非晶态； 衬底温度； 放电功率； 能量转换效率； 电极距离； 光生载流子； 光吸收系数； 非晶硅；
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