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离子注入在声表面波器件上的应用

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【作者】 王矜奉； 陈子清； 曾宪楠； 胡云展； 张幼冰； 陈国光；

【机构】 山东大学物理系铁电压电教研室； 山东大学物理系铁电压电教研室；

【摘要】 本文以 Ｈｅ＋注入 ＬｉＮｂＯ３晶体表面为例，给出了表面波相违随注入离子剂量和注入离子能量的变化关系曲线，并介绍了离子束注入在声表面波器件上的一些应用。

【关键词】 声表面波器件； 离子注入； 表面波传播； 相速； 叉指换能器； 晶体表面； 离子能量； 离子束注入； 声体波； 声表面波谐振器；
  • 【文献出处】 声学技术 ,Technical Acoustics , 编辑部邮箱 ,1983年03期
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