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离子注入在材料科学与工程中的应用

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【作者】 孙树滋；

【机构】 东北工学院物理系；

【摘要】 本文介绍了离子注入新技术的发展概况,说明离子注入机的工作原理,综述了近年来离子注入在材料科学及工程方面的研究成果,其中也介绍了作者近期的研究工作。

【关键词】 离子注入； 材料科学与工程； 加速电压； 工作原理； 透射电子显微镜； 空位团； 间隙原子； 磁头材料； 表面合金； 马氏体相变；
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