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用于电子显微镜中的X射线能谱仪

SURVEY OF ENERGY DISPERSIVE X-RAY ANALYSIS SYSTEMS IN THE ELECTRON MICROSCOPE

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【作者】 王志焜；

【Author】 Wang Zhikun Department of Engineering Physics, Tsinhua University, Beijing

【机构】 清华大学工程物理系；

【摘要】 本文扼要介绍了目前国内外用于电子显微镜中的X射线能谱仪的发展概况、应用情况以及达到的测量水平,并分别叙述了硬件和软件两方面现状、水平及近期改进的展望。

【Abstract】 In this paper the recent development and applieation of energy-dispersive X-rayanalysis systems in the electron microscope and its future are briefly described.

【关键词】 能谱仪； 小型计算机； 多道分析器； 发展概况； 分辫率； 物理电子学； 运算速度； 能量范围； 处理程序； 脉冲幅度分析器；
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,1983年03期
  • 【被引频次】2
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