石英玻璃中杂质扩散对半导体材料和器件的影响及其改进措施

【摘要】 <正> 一、引言众所周知,石英玻璃由于化学稳定性好,有较高的纯度,在高温下的热稳定性好等特点,使它的应用极为广泛.在半导体材料、器件的研究和生产中更是离不开石英玻璃材料.我国主要采用气炼石英玻璃作为制造半导体材料的仪器器皿.石英玻璃中的杂质对半导体材料和器件的沾污,特别是钠、钾、铜、铁等杂质的沾污作用,早已引起半导体工作者的重视.本文通过一些材料和器件制备工艺的特点探讨石英玻璃中钠、铜、铁杂质对半导体更多还原