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方形探针测量矩形薄片电阻率的一种新计算方法及讨论

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【作者】 王新久； 陈培毅； 富力文；

【机构】 清华大学； 清华大学；

【摘要】 本文应用Schwarz变换简化了边界条件,讨论了方形四探针测量单面及双面扩散的矩形半导体薄片电阻率的修正因子,给出了用雅可比椭圆函数表示的公式。结果还表明采用适当的样品形状及探针排列可以提高测量的精度。对于双面扩散样品,还存在一个最佳形状,即当a/d=1时,修正因子与样品大小无关。

【关键词】 雅可比椭圆函数； 电阻率测量； 修正因子； Schwarz； 边界条件； 半平面； 数值解； 拉氏方程； 差分法； 对称原理；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1983年04期
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