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液封法拉制砷化镓单晶的纵向均匀性研究

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【作者】 王德宁；

【机构】 中国科学院上海冶金研究所；

【摘要】 <正>本文导出了有关液封法拉制砷化镓单晶的分配—分凝方程,并讨论了提高GaAS单晶的纵向均匀性的有效途径。一、前目目口目前由于砷化稼及有关化合物的发光、激光,微波器件迅速发展,对GaAs衬底材料质量提出了越

【关键词】 均匀性； 砷化镓； 液封； 微波器件； 分凝； 衬底材料； 直线关系； 水平法； 氧化硼； 拉速；
  • 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1982年04期
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