【摘要】 <正> 分子束外延技术和设备是半导体研究与生产的一项新的手段。在超高真空环境下,待外延的材料以分子束的形式射向衬底并淀积在衬底上形成外延层。用来产生分子束的分子束源组件是该设备中的一个重要组成部分。它的结构如何设计,影响着整个分子束外延设备中其他部件的配置,对整机的工作性能有着直接的关系。分子束源组件包括若干个喷射炉、快门、准直孔、隔热件、液氮冷阱以及有关的安装结构。这里重点介绍除炉体本身外的各个部分以及整体的组成。呈坩埚状的炉子,按安装方位可分为卧式和立式两种。卧式的并不是完全水平安装,以更多还原

【Abstract】 This paper describes a molecular beam source assembly used in an MBE equipment developed by Institute of Semiconductors, Academia Sinica and etc. This assembly includes an independent LN₂ cooling shroud and an auxilliary pumping system. The former makes maintain easy and the latter pumps the vapour from Knudsen cells and related components, and so improves the MBE environment.Especially, each Knudsen cell is combined with its own shutter into a compact component-an integrated molecular beam source, and it is conveniently managed.更多还原