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NbGe超导薄膜的透射电镜样品的制备

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【作者】 陈希成； 杜长庚；

【机构】 中国科学院物理研究所； 冶金工业部有色金属研究总院；

【关键词】 超导薄膜； NbGe； 透射电镜； 样品架； 离子轰击； 薄膜样品； 高纯氮气； 真空度； 手工研磨； 超导转变温度；
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