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充气热压炉及其控温系统简介

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【摘要】 <正> 对于材料工作者来说,不管是单晶生长或多晶制备都希望能有一个好的炉子。这个炉子占地不大,又具有多种用途:既能用于单晶生长,又能用于多晶制备;既能充气,又能抽真空,既能在工作时对样品加机械压力,又能加各种气压。根据这一设计思想,我们制作了一个既可热压又可充气的炉子。热压炉采用六根 SiC 棒加热,炉膛为120×120×120。抽真空时,真空度接近10^-1mmHg;更多还原

【关键词】单晶生长；控温系统；抽真空；机械压力；真空度；最高工作温度；无故障运行；程控系统；降温速度；表压；

【文献出处】人工晶体 ,Journal of Synthetic Crystals , 编辑部邮箱 ,1982年Z1期

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