电外延生长技术——焦耳热的解决

【摘要】 <正> 电外延是一种新的晶体生长技术。这种方法是借助直流电流过晶体和金属界面,而产生的珀尔帖效应来引起和维持的液相外延。它的主要特点是:1.生长速率与电流密度(直流电)具有线性关系,可根据需要在较大的范围内能精确的控制生长速率。目前生长速率可控制在100(?)/分以下,这时生长薄层(0.1μ以下)是十分有利的。2.外延层表面平坦,内部缺陷少,缺陷密度比普通液相外延小一个数量级以下。更多还原