双回路连续调节电子称重法自动控制晶体生长系统

【摘要】 <正> 文章在叙述了电子称重法基本原理的基础上,着重从自动调节理论的角度出发,叙述一种双回路连续调节自动控制晶体直径系统,系统以高灵敏度电子秤为主回路测量环节,将晶体重量偏差信号经主调节器调节后,做为付回路的输入量,而付回路则以热偶为测量元件,以坩埚温度为被调量,自成闭环回路,以克服功率扰动对晶体直径的影响,改善主回路动态更多还原