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激光干涉定位动态检测系统
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【作者】
刘祥文
;
【机构】
云南省计量测试研究所
;
【摘要】
本文以光栅副综合精度的动态测量为例,详细叙述了动态检测电路的工作原理,并估算了激光定位动态检测电气系统的精度。
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还原
【关键词】
动态测量
;
动态检测
;
定位系统
;
激光干涉
;
激光定位
;
光栅尺
;
检测电路
;
脉冲当量
;
比长仪
;
偶然误差
;
【文献出处】
计量技术
,
Measurement Technique
,
编辑部邮箱
,
1982年01期
【下载频次】29
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