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激光干涉定位动态检测系统

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【作者】 刘祥文

【机构】 云南省计量测试研究所

【摘要】 本文以光栅副综合精度的动态测量为例,详细叙述了动态检测电路的工作原理,并估算了激光定位动态检测电气系统的精度。

  • 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,1982年01期
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