硅烷、磷烷及硼烷的CO₂激光光声光谱

【摘要】 <正> 本文介绍了采用CO₂激光光声光谱检测硅烷、磷烷及硼烷的意义、测试装置及方法,为采用TEACO₂激光器提纯硅烷提供了必要的光谱数据。 硅烷作为太阳能电池的原料,它含有Ⅲ族和Ⅴ族元素的挥发物质磷烷、砷烷及硼烷等。要提高太阳能电池的效率或使大多数半导体器件的制作获得成功,就需要超高纯度的原料。采用常规的方法,需要对提纯的物质都要经过同样的程序,而激光提纯的方法其独特之处就在于激光只作用于杂质上,而留下所需要的硅烷事实上不发生变化。当前,国外大多采用紫外ArF激光器对硅烷进行提纯,尚未见到利用CO₂激光器进行提纯的报导。但是,由于CO₂激光器具有功率大、性能稳定及容易制造等特点,因此,采用CO₂激光器提纯硅烷将具有更大的意义。更多还原