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二氧化钛薄膜的性质及其在激光技术中的应用

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【作者】 徐剑云； 马美娟； 郁德明； 彭家驹；

【机构】 上海市激光技术研究所； 上海市激光技术研究所；

【摘要】 本文介绍了真空蒸发所得TiO2薄膜的性质,以及与工艺参数间的关系.给出了实验曲线和照片以及TiO2薄膜在激光技术中的应用实例.

【关键词】 二氧化钛薄膜； 激光技术； 二氧化钦； 薄膜结构； 真空蒸发； 工艺参数； 无定形结构； 实验曲线； 电子衍射分析； 薄膜应力；
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