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钝化膜晶体管的电子辐照效应

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【作者】 谢建华； 林理彬； 田景文； 陈伯英； 张兴常； 唐方元； 熊文树； 林茂清；

【机构】 四川大学物理系； 星光半导体厂； 成都720所； 成都720所；

【摘要】 本文介绍了Al2O3单层钝化膜及Al2O3-SiO2双层钝化膜掩蔽下的外延PNP-3CK2型开关晶体三极管,在高能电子辐照下性能变化的情况,并与无膜管子的辐照情况作了对比。

【关键词】 钝化膜； 辐照效应； 电子辐照； 辐照实验； 电子束能量； 性能变化； 发射结； 少数载流子寿命； 界面态； 剂量率；
  • 【文献出处】 核电子学与探测技术 ,Nuclear Electronics & Detection Technology , 编辑部邮箱 ,1982年01期
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