离子束混合处理后钢的磨损行为

【摘要】 <正> 一、引言近几年来,离子注入技术在金属方面的研究和应用越来越引起人们的重视。但是金属材料的研究要求注入剂量高(一般在10¹⁷离子/平方厘米以上),要求注入的离子种类多,这样对离子注入机的发展提出了新的要求。（即注入机束流强、离子源能引出的离子种类多等）。目前欧美等国正在不断解决这一课题,制造束流强（毫安级）、能注入离子种类多的离子注入机。除此之外,还在探索一种新的离子束工艺,以代替直接将所需离子注入金属内的离子注入工艺。这种工艺更多还原