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SOS外延膜的光吸收研究

Investigation of SOS Films by Optical Absorption Measurements

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【作者】 章熙康； 顾隆道；

【Author】 Zhang Xikang/Institute of Metallurgy, Academia SinicaGu Longdao/Institute of Metallurgy, Academia Sinica

【机构】 中国科学院上海冶金研究所； 中国科学院上海冶金研究所；

【摘要】 <正> SOS(蓝宝石上外延硅)膜是异质外延,由于点阵失配、外延后冷却时产生的热应力及自掺杂效应,外延膜的结晶质量及半导体性能对于衬底制备及外延工艺参数非常敏感.Druminski等根据SOS膜的光谱反射吸收测量,提出用一光吸收因子F_A来表征硅膜的结晶质量.F_A定义为

【关键词】 结晶质量； 异质外延； SOS； 自掺杂； 半导体性能； 外延膜； 光谱反射； 硅膜； 吸收因子； 相衬；
  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,1982年03期
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