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液封法制备低位错及无位错砷化镓单晶
 
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【作者】
王德宁
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杨金华
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缪仲熙
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徐涌泉
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蒋大卫
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水海龙
;
【作者单位】
中国科学院上海冶金研究所
;
【文献出处】
稀有金属
,
Chinese Journal of Rare Metals
,
编辑部邮箱
1981年 02期
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【摘要】
在液封直拉法中,采用镓、砷直接合成工艺,在特定的热场下,应用缩颈技术,最大可制得直径、为30毫米,长9厘米重约220克无位错单晶,并可稳定地制得直径近于30毫米的低位错单晶(~5×10~3厘米~(-2))。试验结果表明:温度场的选择,缩颈技术,放肩角度控制是制备低位错或无位错单晶的关键,本文初步探讨了化学计量比,杂质偏析对位错密度的影响。
【正文快照】
一、引言 液封直拉是制备砷化稼器件的衬底材料的常用方法。具有辅助材料省、晶体直径大、成晶率高等优点。尤其是我国独创的直接合成工艺〔1〕,省略了多晶料的制备工序,更使该方法具有生产率高,成本低等优点。但长时期来此方法所得晶体质量较差,位错密度高达1护~106厘米一2,‘
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