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小面积铌隧道结的制备及其性能

PREPARATION AND PERFORMANCE OF SMALL NIOBIUM TUNNEL JUNCTION

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【作者】 杨沛然； 陈烈； 邵立勤；

【Author】 Yang Pei-ran, Chen Lie, Shao Li-qin Institute of Physics, Academia Sinica

【机构】 中国科学院物理研究所； 中国科学院物理研究所；

【摘要】 在超导隧道效应研究中,铌隧道结的研究一直受到人们的重视,我们利用射频溅射法制备铌膜,然后把此铌膜光刻制成铌下电极,并在溅射设备中用离子溅射清洁Nb电极表面,并立刻向溅射室充入高纯氧气:生成NbO位垒层,最后蒸度Pb上电极等一整套工艺制出的Nb NbO-Pb隧道结,其低温测量得到的Ⅰ-Ⅴ曲线与理论结果十分相似。经数月时间多次重复低温试验,征明隧道结的重复可靠性也是令人满意的。

【关键词】 隧道结； 超导隧道； 下电极； 高纯氧气； 低温试验； 约瑟夫森； 能隙； 蒸镀； 结电阻； 正常态；
  • 【文献出处】 制冷学报 ,Refrigeration Journal , 编辑部邮箱 ,1981年04期
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