半导体温差电致冷障板

【摘要】 <正> 引言由于油扩散泵维修、使用简便,因此许多真空系统中仍用它来获得高真空。油扩散泵存在的一个主要问题是油蒸汽返流入真空系统。油蒸汽的污染造成许多危害,例如在中子发生器中,油蒸汽污染会降低真空中沿绝缘材料表面及电极间的耐电压性能;离子源性能下降;中子产额减小和靶子寿命缩短等。为了减少油蒸汽的返流,对于不同的工作要求采更多还原