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激光化学技术在微电子学中的应用
【摘要】 <正> 近年来,激光化学技术在微电子学领域已成功地应用于微电镀、多晶硅或金属的激光显微沉积、半导体的激光化学掺杂等方面,充分显示了激光化学技术的有利特点。
- 【文献出处】 应用激光 ,Applied Laser , 编辑部邮箱 ,1981年05期
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【摘要】 <正> 近年来,激光化学技术在微电子学领域已成功地应用于微电镀、多晶硅或金属的激光显微沉积、半导体的激光化学掺杂等方面,充分显示了激光化学技术的有利特点。