节点文献

利用激光分解硅烷获得硅薄膜

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 吴振球； 刘洪庆； 陈万湘；

【机构】 河北大学激光研究室； 河北大学激光研究室；

【关键词】 硅薄膜； 薄膜质量； 反应气体； 离解极限； 反应室； 吸收长度； 转移作用； 透镜聚焦； 分子离解； 功率密度；
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】34
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)