节点文献
SiCl4氢化反应的探索——提高超纯硅实收率与纯度的途径
【摘要】 本文针对目前超纯硅生产中存在的具体问题,通过化学热力学计算和化学动力学分析,提出将SiCl4氢化成SiHCl3的方法、化学反应方程式及其主要反应条件。最后结合国情给出低温氢化法尾气回收循环新工艺。
- 【文献出处】 上海金属.有色分册 , 编辑部邮箱 ,1981年04期
- 【被引频次】2
- 【下载频次】94
中国学术期刊网络出版总库
【摘要】 本文针对目前超纯硅生产中存在的具体问题,通过化学热力学计算和化学动力学分析,提出将SiCl4氢化成SiHCl3的方法、化学反应方程式及其主要反应条件。最后结合国情给出低温氢化法尾气回收循环新工艺。