节点文献

溅射非晶态硅薄膜光学特性

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 陈树光； 叶贤京； 莫党；

【机构】 中山大学物理系； 中山大学物理系；

【摘要】 <正> 作者用自己改装的椭圆偏振光谱仪在可见光范围内研究了射频溅射非晶态硅薄膜的光学性质;提出能同时确定薄膜折射率实数部分n和消光系数K的实验方法;对不同生长条件的薄膜进行测量,获得n与K随λ变化的资料.

【关键词】 硅薄膜； 光学特性； 非晶态； 可见光范围； 椭圆偏振； 消光系数； 实验方法； 悬挂键； 硅单晶； 振膜；
  • 【下载频次】47
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)