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差示光谱法测定硅中的氧和碳

Measurement of Oxygen and Carbon Content in Silicon by Ratio Spectrum

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【Author】 Xu Zhenjia/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesJiang Desheng/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesSong Chunying/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesSun Bokang/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesLin Jiangxia/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences

【机构】中国科学院半导体研究所；中国科学院半导体研究所；

【摘要】本文提出了一种利用差示光谱测定硅中氧、碳含量的方法.对于该方法的误差进行了讨论.更多还原

【Abstract】 A method using ratio spectrum is described for measuring oxygen and carbon con-tent in Silicon.Sources of error of this method have also been discussed.更多还原

【关键词】差示光谱法；待测样品；多次内反射；双声子；特征吸收峰；光密度；估算结果；红外吸收法；自由载流子；傅里叶变换；

【文献出处】半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,1981年02期

【被引频次】2
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