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MIS多晶硅太阳能电池的AES和ESCA分析

Study of MIS Polycrystalline Silicon Solar Cell Using AES and ESCA

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【Author】 B. W. Lee/Institute of Semiconductors,Chinese Academy of SciencesWang Youxiang/Institute of Semiconductors,Chinese Academy of SciencesYu Hairen/Institute of Semiconductors,Chinese Academy of SciencesXu Zhenjia/Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences

【机构】中国科学院半导体研究所；中国科学院半导体研究所；中国科学院半导体研究所美国Rutgers大学访问学者；

【摘要】 <正> 为了解决能源问题,目前多晶硅太阳能电池的研究受到普遍重视.结构为50（A|°）Cr/60（A|°）Cu/32（A|°）Cr/20（A|°）SiO₂/Si的多晶硅 MIS太阳能电池,据报道可以得到 V_oc=0.50伏特,效率达8.8％.MIS多层结构的组份对于太阳能电池的功能有很重要影响.本文目的是利用AES和ESCA研究MIS多层结构的组份,以便改进太阳能电池的功能.更多还原

【关键词】 ESCA； AES； MIS；多层结构；开路电压；半导体学报；串联电阻；组份；能源问题；功函数；

【文献出处】半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,1981年01期

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