差分型电容式压力发送器

【摘要】 <正> 电容式压力传感器具有结构简单,对测量对象和测试环境适应性强等优点。但是由于传感器输出的非线性,电容式压力传感器很少被采用。众所周知,一个平行板电容器的电容量和极间距离成反比;对于具有可动膜片的变间隙式的压力传感器来讲,在流体压力作用下膜片将发生挠曲变形,这些因素造成的非线性竟达到5%以上。采用复杂的电子线路可以使发送器的非线性输出线性化,同时它也给电容式压力传感器的大量使用带来困难。因此从结构更多还原