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位置精度达10毫微米的液压材料试验系统
【摘要】 由于液压材料试验系统存在主要来自伺服阀的固有缺陷,使得试验系统的活塞常在规定位置附近有1微米的波动.利用汽缸中的液压轴承并精心选择油温和油压可使系统的定位精度达0.2微米.借助于压电瓷片的电控伸缩可以补偿这些不应有的运动从而进一步提高其定位精度.本文叙述压电瓷片的机械设计和控制电路.在样机中当活塞速度达0.3毫米/秒时获得了比10毫微米更好的定位精度.
- 【文献出处】 压电与声光 ,Piezoelectrics & Acoustooptics , 编辑部邮箱 ,1980年03期
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