表面反型结构的紫硅光电探测器

【摘要】 <正> 采用常规扩散方法形成PN结的普通硅光电二极管,结深为几个微米,光谱响应灵敏度的峰值约在8500埃左右,短波响应很低,当4500埃时,几乎无响应。其原因主要是两方面,一是硅材料质量和工艺水平,即硅单晶或外延层复合中心较多;或扩散杂质的表面浓度太高和晶格缺陷多,工艺过程杂质更多还原