低损耗Ti扩散LiNbO₃光波导

【摘要】 <正>本文对钛内扩散LiNbO₃光波导的制备和性能进行了研究.我们采用闭管扩散工艺和补Li措施,密闭长方形（77×23×21mm³）白刚玉舟内放有与样品衬底相同化学配比的LiNbO₃粉和溅射过Ti的LiNbO₃片子,多数实验每次用新的LiNbO₃粉0.5克.由高频溅射高纯（99.99%）钛的办法,在y—切LiNbO₃衬底上淀积钛膜,在温度为1000℃,时间为八小时的扩散条件下发现,Ti膜厚度在192-460?)范围内,可获得单模波导（6328?）.这种工艺使波导的制作十分简单,重复性好,而且既可抑制 Li₂O外扩散,又可获得低损耗（～1db/cm）光波导,因此这种工艺是合理的更多还原