利用激光分解硅烷获得硅薄膜

【摘要】 <正> 为了克服化学气相沉积法制取薄膜的缺点,本文对激光制取硅薄膜作了初步探讨,用连续CO₂激光器作用于硅烷和氢的混合系统,用单晶硅片、石英片和陶瓷做基质都制得了硅薄膜。实验装置采用连续CO₂激光做光源,激光管长6米,直径40毫米,输出功率可调（60～280瓦）,稳定度约10％,大多数情况下为多模。反应室为圆柱形,内径50毫米、高150毫米,一端开NaCl窗口,另一端封闭,中间装有气门活塞。激光束经一焦距15更多还原