193nm ArF准分子激光器

【摘要】 <正> 本文报告高功率紫外光预电离ArF准分子激光器的实验研究。使用F₂+Ar+He混合气体作为工作介质,已获得ArF最大脉冲激光能量219毫焦耳,总效率0.5％左右。本器件并可输出KrF激光,最大脉冲激光能量424毫焦耳,总效率约1％。激光器是由内径为8.4cm的玻璃钢圆筒做成,长94cm。电极采用张氏均匀场型面电极,电极有效平区宽5mm,电极长80cm,两电极之间距离为2.1cm,因此激活体积为80×2.1×0.5cm³。放电采用LC反转电路,主放电电容为平板电容,电容量分别为C₁=12nF和C₂=更多还原