砷化镓气相外延生长反应系统的研究

【摘要】 <正> 一、引言为了重复地、可控地制备高质量的GaAs外延材料,建立一个高气密性,抗强腐蚀性的外延生长反应系统,采用Ga-AsCl₃—H₂系统是首要的,而且是必不可少的。由于AsCl₃具有极强的腐蚀性,能够提供制作反应系统的材料是很少的,只有石英、聚四氟乙烯等材料。虽然氟橡胶具有耐腐蚀,优良的机械弹性等优点,为许多工作者所采用,但是大量事实说明氟橡胶仍经不住AsCl₃的强烈腐蚀,并且是外延材料质量低劣的重要原因之一。因此,设计并建立一个高气密性,抗强腐蚀性的外延生长反应系统更多还原