GaInAsP四元系化合物半导体材料的电子探针定量分析的修正

【摘要】 <正> 随着化合物半导体的发展,半导体器件有了更高的效能和更广泛的应用。Ga_xIn_1-xAs_yP_1-y是一种新型的四元系化合物半导体,其中x,y值是重要的参数之一。当0.7>x>0.5,y<0.1时,可制成有可见光辐射的器件。用电子探针定量分析可以测出四种元素的百分比浓度,确定x和y值。我们把电子计算机得出的定量分析修正计算的结果进一步进行了分析,推导出一种简化的修正计算方法,使Ga_xIn_1-xAs_yP_1-y的定量分析修正变得十分方便。更多还原