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表面反型结构的硅(紫)光电探测器
【摘要】 本文分析了常规扩散方法形成的Pn结普通硅光电二极管,光谱响应偏于可见光的长波及近红外区,针对短波响应差的原因提出了表面反型结构的器件设计.实验表明,光谱响应曲线(等能)比较接近人的视见函数,响应峰值移到了5400,在4000时相对灵敏度约70%左右,长波限移到8600～9000范围.
- 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1980年06期
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