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轴流分子泵研究(三)──产品试制及其性能实验

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【作者】 泽田雅谷口修徐清发

【机构】 沈阳真空技术研究所

【摘要】 关于轴流分子系的工作机理,我们在第一报和第二报里已经谈过了。基于这两报的结果,这里我们提出了确定叶列排列的方法,设计和试制了一台轴流分子泵,并对这台分子泵的性能进行了大量试验。试验结果表明,极限压强为5.2×10乇,于室温下对氮的抽速为670升/秒。这些测试数值与予计值相符。

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