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φ200口径新型油扩散泵的研制

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【作者】 张国孝； 耿立华；

【机构】 沈阳真空技术研究所； 沈阳真空技术研究所；

【关键词】 油扩散泵； 极限真空； 重要性能指标； 真空技术； 蒸汽流； 中心线； 出口直径； 性能测试结果； 内径尺寸； 前题；
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