微扰用介质薄片介电常数的精确测量

【摘要】 本文介绍作为平面结构慢波系统耦合阻抗测量用的介质薄片(云母片,陶瓷片等)介电常数ε_r的测量方法——谐振微扰法;并考虑到测试腔耦合元件电纳对测量结果的影响,提出了修正公式。在三厘米波段,对几种介质薄片进行了实际测量,并与传输线驻波比法进行了比较。这种测量方法还适用于各种半导体材料薄膜介电特性的测量。更多还原