一个静电式电子能量分析器系统

【摘要】 电子能谱技术是近年来迅速发展的表面物理研究手段及化学成分与结构的有力分析工具。它的基本思想是测量在各种激发(如X射线、紫外光、电子、离子)下由物质表面逸出的电子动能谱,据以推断物质的电子能级结构,由之探讨有关的物理、化学问题[1].准确测定电子动能谱当然是电子能谱仪器的最基本的要求了.由于实际所要测量的是低能(2000 eV以下)电子,采用静电式能量分析器有显著的优点,主要是可以安排得很紧凑,工作体积小,便于采用　金属屏蔽来消除外磁场的干扰。常用的静电式能量分析器如:同心球面电容器、同轴圆柱面及同轴圆柱镜分析器等,它们的基本原理可参见文献[1].它们的共同特点是:对应于内外两面的一个电位差值只更多还原