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离子注入杂质分布

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【作者】 马德录；

【机构】 辽宁大学物理系；

【摘要】 本文在林德哈德投影射程理论(LSS理论)的基础上,考虑了离子注入的同时产生的扩散效应,给出了离子注入晶体中的杂质浓度分布为高斯函数和余误差函数。从而定性地解释了杂质浓度分布实验曲线比LSS理论曲线多出的“尾巴”。

【关键词】 杂质浓度； 离子注入； 杂质分布； 投影射程； 实验曲线； 高斯函数； 扩散效应； 理论曲线； 林德； 误差函数；
  • 【文献出处】 辽宁大学学报(自然科学版) ,Journal of Liaoning University(Natural Sciences Edition) , 编辑部邮箱 ,1978年01期
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