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X线光电子谱仪及其在金属表面膜分析中的应用

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【作者】 倪瑞澄；

【机构】 上海材料研究所；

【摘要】 <正> X线光电子谱(X-Ray Photoelectron Spectroscopy)分析法,它是和俄歇电子谱技术并行的研究固体表面的新方法。首先由瑞典Uppsala大学K.Siegbahn教授及其同事们于1957年开始发展起来的。X线光电子谱(XPS)亦称化学分析电子谱(ESCA)。它利用高能量的激发源X线照射物质,由于光电效应而发射出光电子,由测定光电子的动能谱,可以测定内层电子和价电子的结合能(图1)。本文主要讨论内层

【关键词】 俄歇电子谱； 内层； 等离子体激元； 激发源； 表面带； 表面膜； 费米能级； 逸出深度； 壳层； 原子层；
  • 【分类号】TG115.33
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