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He-Ne激光器研制中真空系统的改进

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【作者】 陈耀勤； 刘玉奎； 代柏岩； 王春铭；

【机构】 哈尔滨激光技术研究所； 哈尔滨激光技术研究所；

【摘要】 <正> 在He-Ne激光器的制作过程中,真空系统的好坏对器件性能有直接影响。 目前He-Ne激光器中普遍使用的He、Ne气体的纯度均在99.99％以上,即在He-Ne激光管中所含杂质气体分压强约为2×10-4托,其中有害杂质气体分压强可能达到10-5托的量级。因此,研制He-Ne激光器时要求真空系统动态能达到10-6托,静态也要有够用的时间保持在10-5托以上。

【关键词】 He-Ne激光； 真空系统； 杂质气体； 激光管； 真空机组； 器件性能； 真空度； 中所； 辅助阳极； 支管道；
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