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氟化氪(KrF)准分子激光器

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【作者】 陈建文； 傅淑芬； 刘妙宏； 吴元福；

【机构】 中国科学院上海光机所； 中国科学院上海光机所；

【摘要】 <正>自从1975年Velazco和Setser提出稀有气体卤化物准分子激光器方案以来,在短短两年的时间里,准分子激光器获得了极为迅速的发展,XeBr、XeF、KrF、ArFXeCl、KrCl、ArCl等稀有气体卤化物准分子激光器先后研制成功,而其中被公认为最有希望获得高能量、高功率、高效率的体系是KrF.与XeF相比,KrF有更高的饱和能量密度,因为它的感应辐射截面比 XeF/小一个

【关键词】 准分子激光器； KrF； 输出能量； 光学谐振腔； 能量密度； 腔长； 充电电压； 小信号增益； 高效率运转； 激光振荡；
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