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碳化钛气相沉积

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【作者】 王绍佐； 潘维富；

【机构】 西安高压电瓷厂； 电炉研究所；

【摘要】 <正> 在钢及硬质合金基体上沉积碳化物是属于CVD技术中的一种。CVD技术（Chemical Vapocun deposition化学气相沉积）最早（1893年）在美国已有人用WCl6和H2混合进行复盖得到WC,1931年用C6H5CH3和Ticl4在H2载流下得到TiC,由于生产技术条件所限直到1968年才在硬质合金上得到工业性的应用。

【关键词】 气相沉积； 碳化钛； 硬质合金基体； 沉积温度； 反应室； 生产技术条件； 固相反应； 固相化学反应； 沉积过程； 沉积技术；
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