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LPE Ga1-xAlxAs中Al组分分布
【摘要】 用理想溶液模型简化计算了GaAlAs三元系在富Ga角的相图,用作图法确定降温过程中液相组分变化的沉积路程(简称DP线),分析了母液配方,外延温区和生长速率对外延层中分布的影响。
- 【文献出处】 国外发光与电光 , 编辑部邮箱 ,1979年Z1期
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【摘要】 用理想溶液模型简化计算了GaAlAs三元系在富Ga角的相图,用作图法确定降温过程中液相组分变化的沉积路程(简称DP线),分析了母液配方,外延温区和生长速率对外延层中分布的影响。