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国外大规模集成电路生产中的光学技术应用概况
【摘要】 本文综述在大规模(LSI)与超大规模(VLSI)集成电路制造工艺流程中必不可少的光学装备及其原理与作用。并从国外动向中了解光学仪器装备发展水平的概况及讨论在生产线上应如何配置的问题。
- 【文献出处】 半导体设备 , 编辑部邮箱 ,1979年01期
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【摘要】 本文综述在大规模(LSI)与超大规模(VLSI)集成电路制造工艺流程中必不可少的光学装备及其原理与作用。并从国外动向中了解光学仪器装备发展水平的概况及讨论在生产线上应如何配置的问题。